玻琍厚度

0.5mm~1.5mm

外觀粗糙度

＜1nm

光透視比τvD65in%

92.00%

平均線性熱膨脹系數n（靜態丈量)

9.4(0°C-300°C/10 -6 K -1 )

轉變溫度 Tg

536℃

1MHz下介電常數εr

7

折射率 n

1.5229

密度ρ(40°C/h下退火)

2.56 g/cm3

可供晶圓尺寸

2"方片、6"、8"圓片

消耗角正切tgδ/介質消耗

2.6×10 -3 （1Mhz）

5.9×10 -3 （1Ghz）

8.4×10 -3 （5Ghz）