玻琍厚度

0.2mm~1.1mm

外觀粗糙度

＜5nm

光透視比τ vD65 in%

92%

平均線性熱膨脹系數n（靜態丈量)

8.49(20°C-300°C/10 -6 K -1 )

轉變溫度 Tg

455℃

1MHz下介電常數 ε r

6.5

折射率 n

1.515

密度ρ(40°C/h下退火)

2.37 g/cm 3

可供晶圓尺寸

2"方片、6"、8"圓片

消耗角正切tgδ/介質消耗

6.5×10 -3 （1Mhz）

8.4×10 -3 （1Ghz）

10.9×10 -3 （5Ghz）