玻琍厚度

0.2mm~1.1mm

外觀粗糙度

＜1.5nm

光透視比τ_vD65in%

91.00%

平均線性熱膨脹系數n（靜態丈量)

0.55(20°C-300°C/10^-6K^-1)

轉變溫度 Tg

1120℃

1MHz下介電常數εr

3.8

折射率 n

1.4584

密度ρ(40°C/h下退火)

2.20 g/cm³

可供晶圓尺寸

2"方片、6"、8"圓片

消耗角正切tgδ/介質消耗

3×10^-4（20Ghz）

2×10^-4（10Ghz）